晶圆倒片机 Wafer Sorter

晶圆倒片机 Wafer Sorter

 

  • 可对应 3-12 英寸各类材质的晶圆;
  • 可对应 Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette;
  • 可对应可 OHT 系统和 AGV 系统相配套;
  • 可对应 MES 系统;
  • 满足用户的各种应用方式(夹持、伯努利、翻转)和 14 纳米工艺需求;
  • 除了通用的 2-8 port 产品外,可根据客户的需求定制各类型排列方式。

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