Wafer Inspection and Sorter Machine

采用高性能双臂洁净机器人实现 8/12 吋晶圆分选，配置 Olympus 高倍显微镜及 CCD 视 觉系统实现晶圆正面及背面的缺陷检查。

设备特点

• 兼容 SEMI 标准 Foup/Open Cassette,采用旋转loadport 对应 SEMI Standard FOSB;
• 具备 RFID reader 和 bar-code reader 功能；
• 配置 Olympus 高倍显微镜及 CCD 视觉系统实；
• 现晶圆正面及背面的缺陷检查。
• 可视化操作，双显示屏界面，操作简便；
• 具有 MES 模块的软件系统可与 CIM 系统无缝链接；

技术参数